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| 八井崇, 栗原一徳, 関谷毅, 染谷隆夫, 野村航, 大津元一, "サファイヤ基板の大面積平坦加工," 2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会,14.3：プロセス技術・界面制御, 2011年3月. | |
| ID | 724 |
| 分類 | 国内会議（一般講演：口頭） |
| タグ | |
| 表題 (title) |
サファイヤ基板の大面積平坦加工 |
| 表題 (英文) |
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| 著者名 (author) |
八井崇,栗原一徳,関谷毅,染谷隆夫,野村航,大津元一 |
| 英文著者名 (author) |
八井崇,栗原一徳,関谷毅,染谷隆夫,野村航,大津元一 |
| キー (key) |
八井崇,栗原一徳,関谷毅,染谷隆夫,野村航,大津元一 |
| 定期刊行物名 (journal) |
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会,14.3：プロセス技術・界面制御 |
| 定期刊行物名 (英文) |
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| 巻数 (volume) |
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| 号数 (number) |
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| ページ範囲 (pages) |
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| 刊行月 (month) |
3 |
| 出版年 (year) |
2011 |
| Impact Factor (JCR) |
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| URL |
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| 付加情報 (note) |
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| 注釈 (annote) |
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| 内容梗概 (abstract) |
神奈川工科大学,2011年3月24~27日 |
| 論文電子ファイル | 利用できません． |
| BiBTeXエントリ |
@article{id724,
title = {サファイヤ基板の大面積平坦加工},
author = {八井崇 and 栗原一徳 and 関谷毅 and 染谷隆夫 and 野村航 and 大津元一},
journal = {2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会,14.3：プロセス技術・界面制御},
month = {3},
year = {2011},
}
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