【公開番号】特開2005-294300【公開日】2005年10月20日, "【発明の名称】非単結晶トランジスタ集積回路及びその製造方法," 【出願番号】特願2004-102748【出願日】2004年03月31日【出願人】国立大学法人東京大学【発明者】関谷毅,他3名, 2005年10月.
ID 904
分類 特許情報
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表題 (title) 【発明の名称】非単結晶トランジスタ集積回路及びその製造方法
表題 (英文)
著者名 (author) 【公開番号】特開2005-294300【公開日】2005年10月20日
英文著者名 (author)
キー (key)
定期刊行物名 (journal) 【出願番号】特願2004-102748【出願日】2004年03月31日【出願人】国立大学法人東京大学【発明者】関谷毅,他3名
定期刊行物名 (英文)
巻数 (volume)
号数 (number)
ページ範囲 (pages)
刊行月 (month) 10
出版年 (year) 2005
Impact Factor (JCR)
URL
付加情報 (note)
注釈 (annote) 【筆頭IPC】H01L 21/33616
内容梗概 (abstract)
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