特許情報
[1] 【公開番号】特開2014-226257【公開日】2014年12月08日, "【発明の名称】多点プローブ及びそれを構成する電子接点シート、多点プローブアレイ並びに多点プローブの製造方法," 【出願番号】特願2013-107229【出願日】2013年05月21日【出願人】独立行政法人科学技術振興機構【発明者】関谷毅,他2名, 2014年12月.